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一种光谱共焦测量系统的光源归一化处理方法

CN202110452781.8 2021-4-26 发明申请

2021-7-27

本发明公开了一种光谱共焦测量系统的光源归一化处理方法，是通过采集光谱共焦光源的信号，计算出光源的光谱强度分布，并将其转换成归一化系数。本发明能在正常测量过程中，对采集到的被测目标信号进行归一化处理，以解决光源光谱均匀性较差的问题，修正光源的均匀性引起的误差，以及系统其他光学器件的测量误差，从而能提高光谱共焦位移传感器测量精度和稳定性。