产业专利数据
 
带电粒子显微镜中扫描透射成像技术的识别
 
JP2019028000  2019-2-20  发明申请
2019-9-12
 
  [问题]在带电粒子显微镜扫描透射成像技术中用于识别。 来自光源的照明光通过带电粒子束照射样品[A]被扫描在样品上， 通过带电粒子束横穿的样品， 分段检测器32形成在光束覆盖区域F上，每个扫描位置检测器32不同于组合信号分段被编译，VS矢量场生成成像，积分矢量场的积分运算通过施加VS2维矢量场对样本图像成像。 [图]图3A
 
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