| 扫描探针显微镜和表面图像校正方法 |
| US16184013 2018-11-8 发明申请 |
| 2019-9-12 |
| 倾斜校正处理器对由扫描处理器扫描获得的样品的表面图像执行用于校正表面图像相对于与x方向和y方向相交的z方向的倾斜的图像处理。 倾斜校正处理器从沿着预定方向的直线上的表面图像中提取多个像素，并且基于所提取的像素的亮度校正表面图像的倾斜。 在至少在与X方向和Y方向交叉的一个方向(P方向)上对具有平坦表面的样品的表面图像进行校正的情况下， 倾斜校正处理器执行图像处理，使得预定方向(直线28的方向)基本上与一个方向(P方向)匹配。 |
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