| 使用扫描探针显微镜确定用于原子探针断层扫描的样品尖端形状的方法和用于执行所述方法的扫描探针显微镜 |
| EP18160678 2018-3-8 发明申请 |
| 2019-9-11 |
| 本发明涉及一种用于相对于针状样品(11)的顶点区域(21)正确定位适于扫描探针显微镜(SPM)的探针(1)的方法和装置， 例如用于原子探针断层扫描的样品，以便进行所述顶点区域的SPM采集，从而获得所述区域的图像。 所述定位通过迭代过程进行，所述迭代过程从角锥形SPM探针的一个侧平面(12)与样品尖端(15)相互作用的位置开始。 通过在两个正交方向上的受控连续扫描，SPM探针尖端(1)接近并最终到达探针的尖端区域(H)与样品尖端的顶点区域(21)相互作用的位置。 |
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