| 一种利用体视显微镜对中扫描电镜钨灯丝的操作方法 |
| CN201910382719.9 2019-5-9 发明申请 |
| 2019-9-10 |
| 本发明涉及一种电镜检测和维护的技术领域,更具体地说,它涉及一种利用体视显微镜对中扫描电镜钨灯丝的操作方法,其技术方案要点是:第一,控制对中调节螺丝的旋转角度,逐步缩小灯丝偏离栅极孔中心的幅度,防止调节过程灯丝反复偏离中心,缩短调节时间;第二,在体视显微镜工作台面设置一个定位圆,快速肉眼观察和手动定位,保证栅极帽位于显微镜视场的中心位置,大大缩短每次观察灯丝对中效果的操作时间;第三,细化和量化操作动作,从而实现快速、精确的灯丝对中。 |