| 单片光谱仪 |
| CN202011027274.1 2020-9-25 发明申请 |
| 2021-3-26 |
| 在一些实施例中，提出了光谱仪。依照一些实施例，光谱仪包括：光学传感器阵列，光学传感器阵列包括衬底和形成在衬底上的像素阵列；光谱滤波器阵列，形成在光学传感器阵列的像素之上，光谱滤波器阵列过滤入射光，使得每个像素接收与该像素相关联的光谱透射轮廓的光；形成在光谱滤波器阵列之上的透明间隔物；以及具有输入孔径的不透明掩模，输入孔径允许光穿过透明间隔物并到达光谱滤波器阵列的一部分上。可以使用光刻技术和某些层的接合的组合，从光学传感器阵列形成光谱仪。 |
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