| 将光学图像与扫描电子显微镜图像相关联的方法和系统 |
| US14506407 2014-10-3 发明授权 |
| 2019-9-10 |
| 光学图像与SEM图像的相关性包括通过用光学检查子系统扫描样品来获得样品的全光学图像， 存储全光学图像， 利用附加源识别存在于所述全光学图像中的感兴趣特征的位置， 利用SEM工具获取样本的一部分的SEM图像，所述样本的一部分包括在所识别的位置处的所述特征， 在由附加源识别的位置处获取光学图像部分， 图像部分包括参考结构， 基于感兴趣特征和参考结构在图像部分和SEM图像中的存在，将图像部分和SEM图像相关联， 以及将SEM图像中感兴趣特征的位置转移到全光学图像的图像部分的坐标系中，以形成校正的光学图像。 |
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