| 共焦位移 |
| JP2017115553 2017-6-13 发明授权 |
| 2022-5-30 |
| 一种共焦位移计，包括：具有共焦光学系统的头单元； 具有泛光用光源41的控制装置4； 以及由光纤构成的光缆，该光纤将来自光源的用于泛光的光传输到头部单元。 头单元包括光学部件，该光学部件使经由光纤的端面发射的检测光产生纵向色差，并且使检测光朝向测量对象会聚。控制装置包括： 分光镜，其将检测光中通过在聚焦于测量对象物上的同时被反射而通过光纤的端面的检测光分离成光谱分量； 以及测量控制部，其根据接收到的光信号求出测量对象的位移。 所述头单元包括显示部分，所述测量控制部分使用所述控制装置的操作状态和所接收的光波形或位移的测量值来控制所述显示部分的显示。 |
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