| 一种分光与探测一体化的短波红外光谱探测器 |
| CN202210133188.1 2022-2-11 发明申请 |
| 2022-5-27 |
| 本发明公开了一种分光与探测一体化的短波红外光谱探测器，其结构自下而上由硅基读出电路、In柱互联层、InGaAs光敏芯片、衬底、集成微腔分光结构阵列组成。本发明中，集成微腔分光结构阵列是基于法布里珀罗(FP)光学微腔原理的多通道集成分光器件。每个分光结构与相应InGaAs光敏芯片像元一体化集成，使每个探测器像元同时具备选频分光和探测能力，构成分光与探测一体化的的短波红外光谱探测器。该探测芯片构成了最小化的短波红外光谱探测组件，具有分光与探测一体，光谱通道可以灵活设计、自由组合，稳定性高、工艺兼容等优点。 |
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