利用薄膜器件重建光波长光谱
 
WOEP20070059  2020-7-15  发明申请

2021-1-21
 
  一种光谱仪装置,包括:包括多个光检测器元件的基板; 在衬底上的第一滤光层,其中第一滤光层包括多组滤光堆叠,第一滤光层中的每个滤光堆叠包括多个折射率交替的介电膜; 以及在第一过滤层上的第二过滤层, 其中第二过滤层包括多组过滤叠层, 第二滤光层中的每个滤光片叠层包括多个折射率交替变化的介电膜, 其中第二滤光层中的每个滤光器叠层与第一滤光层中的相应滤光器叠层和相应的光检测器元件对准以限定相应的光检测器通道,并且其中每个光检测器通道包括不同的光透射光谱。
 
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