| 窄带透射滤波器及片上光谱分析与成像系统 |
| CN202010002528.8 2020-1-2 发明申请 |
| 2020-5-12 |
| 本发明公开了一种窄带透射滤波器及片上光谱分析与成像系统，所述滤波器包括基底，基底表面先形成光栅结构，然后沉积金属/类金属膜，或基底表面先沉积金属/类金属膜，然后形成光栅结构，通过改变基底材料、金属/类金属材料和光栅结构来调节带通中心波长；所述系统包括滤波器阵列和探测器阵列，滤波器阵列由多个不同带通中心波长的滤波器单元构成，每个滤波器单元采用上述的窄带透射滤波器，滤波器阵列的滤波器单元和探测器阵列的探测器单元一一对应组合。本发明的滤波器具有大的工作波长带宽和窄的通带，并且不同中心波长的滤波器可以一次图形化加工获得，通过与探测器阵列形成片上光谱分析与成像系统，大幅提高系统性能，并降低了系统复杂性。 |
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