| 显微镜系统 |
| JP2018031490 2018-2-26 发明申请 |
| 2019-9-5 |
| 在观察对象表面位置中，在图像的情况下改变样品[a]的深度方向上的激发波长的同时，可以通过像差校正机构容易地校正显微镜系统。 物镜29和[AN]， 物镜29由激光束扫描部分21照射并照射在样品S上， 对球面像差校正机构进行校正， 物镜29和来自观察样品或样品S操作者输入部分7的激光的相对位置以及光波长， 各波长， 内插函数存储部的最优值的相对位置表示校正机构之间的关系， 具有该机构的控制装置11， 控制装置11， 激光束扫描单元21的至少一个波长的切换操作同步进行， 存储部分9中存储的是基于插值函数，由输入部分7输入以计算对应于相对位置和长度的最优值，根据用于控制显微镜系统1的机构校正计算的最优值。 图1[附图] |
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