| 基于光学MEMS的监测系统 |
| US17525950 2021-11-14 发明申请 |
| 2022-5-19 |
| 本申请公开了一种基于光学微机电系统(MEMS)的监测系统，包括：宽带光源，可调谐滤光器(TOF)，光学标准具，多个光接收器，多个光耦合器和多个光学MEM传感器； TOF被配置为捕获光学MEMS传感器的透射，反射或干涉光谱； 其中透射，反射或干涉光谱中的峰值或凹陷波长对应于压力，温度或应力的参数，峰值或凹陷波长可通过与具有绝对波长标记的光学标准具的周期光谱进行比较而获得； 该光学MEMS传感器包括光学MEMS谐振器。 压力，温度或应力参数可由光学MEMS传感器的透射，反射或干涉光谱中的峰值或凹陷波长获得。 |
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