| 一种无标准片对零的双光谱共焦测量厚度方法 |
| CN202011357762.9 2020-11-27 发明申请 |
| 2021-1-15 |
| 一种无标准片对零的双光谱共焦测量厚度方法，包括以下步骤，步骤1：第一传感器、第二传感器分别测量参考面；步骤2：第一传感器、第二传感器分别互测参考面；步骤3：第一传感器、第二传感器分别对待测样品表面进行测量；步骤4：计算待测样品厚度。本发明利用传感器的参考面或绝对零点，实现传感器间距的直接标定，简化了对零过程，避免引入第三方测厚仪器的不确定度；利用光纤分路器可以实现多个传感器光源、光谱仪的共用，在保证测量精度的同时，减小了光学部件的数量；透明参考面保证两个传感器可以同时在同一表面形成可视光斑，便于辅助调节两个传感器的相对位姿，实现同轴或者共线调整。 |
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