| 光谱分析装置，光谱分析方法和计算机程序 |
| WOJP21011564 2021-3-22 发明申请 |
| 2021-10-28 |
| 提供一种光谱分析装置， 一种光谱分析方法， 以及计算机程序，其能够获得由于包含多个光束的主光束而包含在副光束中的光束的光谱，该光谱分析装置具有：发射单元，其用于将包含多个光束的主光束发射到样品上； 以彼此分开的方式排列的光束中， 分光计，用于分光由发射到样品上的主光束产生并包括多个光束的副光束； 图像传感器，用于检测分离光束；以及处理单元，用于基于来自图像传感器的检测结果，执行用于生成包括在副光束中的多个光束的光谱的处理。 光谱仪对入射的多种二次光束进行分光， 多束二次光束依次入射， 其中包括在其中的多个相应光束的位置的组合根据多个预定图案而改变， 并且处理单元根据来自图像传感器的根据光谱仪从多种类型的副光束中分离的光束的多次检测结果，通过根据多个预定图案的处理来生成光谱。 |
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