| 同轴光谱成像椭圆仪 |
| WOKR20019478 2020-12-31 发明申请 |
| 2021-10-28 |
| 本发明涉及一种同轴光谱成像椭圆仪。 更具体地说，根据本发明的一个实施例的同轴光谱成像椭圆仪包括：光源； 光调制单元，用于使来自光源的光偏振并使其相位延迟； 物镜，用于在样品处发射由光调制单元调制的光； 入射角调节单元，设置在光源和物镜之间，以便在物镜的后焦平面的特定位置处发射光； 分束器，用于引导由样品反射的反射光束，使得该反射光束在通过物镜之后改变路径； 用于分析反射光束的偏振的偏振分析器； 光谱图像获取单元，用于从反射光束获取光谱图像； 以及信号处理单元，用于通过对由光谱图像获取单元获取的图像进行信号处理来提取关于样品的物理信息。 |
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