| 用于产生样品的轮廓测量的光学相干断层成像(OCT)系统 |
| US17082307 2020-10-28 发明授权 |
| 2022-3-1 |
| 提供了一种光学相干层析成像(OCT)系统，用于以横过轮廓测量的横向分辨率对样品进行轮廓测量。 OCT系统包括行场发生器，干涉仪和光谱仪。 所述行场发生器包括布置在透镜的焦平面中的滤波器，用于将扩展的行场光空间滤波为宽度等于横向分辨率的行场光。 干涉仪被配置为用线场光的参考信号干涉从以线状焦点照射的样品反射的线场光，以产生干涉图案。 光谱仪被配置为在数字域中分析干涉图案的光谱分量，以产生样品的轮廓测量结果。 |
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