| 作为校准源的激光模块，计量系统和光刻设备 |
| WOEP20074863 2020-9-4 发明申请 |
| 2021-3-25 |
| 公开了一种改进的光激光器模块。 该激光模块可以包括被配置为产生激光的激光源(310)，以及被配置为通过使激光的分量的相位去相关来减小激光的相干效应的无限脉冲响应滤波器。 无限脉冲响应滤波器可以包括多个光耦合器(410, 420, 430, 440, 450)，以分别形成具有不同光程长度(L1，L2，L3)的多个光传播环路。 所述激光模块还可以包括声光调制器，所述声光调制器布置在光传播环路中，并且被配置为偏移光载波频率，使得所述激光模块的输出具有加宽的光谱以进一步减小相干效应。 |
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