| 一种可实现局部测量的光学显微膜厚仪 |
| CN201911373049.0 2019-12-26 发明申请 |
| 2020-5-8 |
| 本发明涉及半导体薄膜光学技术领域，特别涉及一种可实现局部测量的光学显微膜厚仪。光路组件包括：图像传感器、第一管镜、测量光源、同轴照明器、分光镜、第二管镜、光纤、光谱仪、物镜转换器及物镜。图像传感器固定在第一管镜的一端，第一管镜的另一端固定在同轴照明器上；测量光源与同轴照明器连接；同轴照明器与分光镜的一端连接，分光镜另一端与物镜转换器；物镜与物镜转换器连接；光谱仪通过光纤与所述第二管镜的一端连接，第二管镜的另一端与分光镜连接；同轴照明器与机架组件固定连接；样品放置在机架组件上。本发明提供的可实现局部测量的光学显微膜厚仪，可实现对样品的局部区域精确测量，具有非破坏性、快速与低成本的优点。 |
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