一种样品的电子显微镜及观察方法
 
JP2018031379  2018-2-23  发明申请

2019-8-29
 
  [A]可以在显微镜下观察样品的观察方法和破坏性的。 [溶液]电子显微镜1, 产生激光光源2和7的CW激光器, 测量7CW激光照射透镜系统(聚光透镜4和物镜6)样品30, 通过从样品73022发射的CW激光并分离每个电子能量分析器EP能量, 以预定能量EEP能量通过狭缝23的光, 探测通过狭缝23的光,电子束检测器25和能量, 光电子从样品30,22,1,第二电子透镜系统21和聚焦能量分析器发射,穿过第一电子检测器25中的狭缝23的光投射出具有2的电子透镜系统24的电子束能量。 图1[附图]
 
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