| 光谱分析仪 |
| EP18885725 2018-11-29 发明申请 |
| 2020-10-14 |
| 一种光谱分析装置，包括：光源，被配置为发射包括多个波长分量的光； 偏光器，被配置为将从光源发射的光转换为要辐射到样品的线性偏振光； 偏振衍射元件，其被配置为在第一方向上衍射和光谱色散包括在已经通过样品的光中的第一偏振分量； 所述偏振衍射元件被配置为在不同于所述第一方向的第二方向上衍射和光谱色散所述光中包括的第二偏振分量， 棱镜，设置在偏振衍射元件的出射侧，具有与第一方向交叉的第一出射面和与第二方向交叉的第二出射面； 并且其中第一出射表面和第二出射表面相对于包括第一方向和第二方向的参考平面的角度不同， 成像元件，被配置为捕获从棱镜的第一出射表面发射的第一偏振分量的图像和从第二出射表面发射的第二偏振分量的图像； 以及处理器，被配置为基于所述成像元件的成像结果来分析所述样本。 |
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