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带电粒子显微镜中的扫描透射
JP2019019260 2019-2-6 发明申请
2019-8-29
[问题]提供一种扫描透射电子显微镜,带电粒子,例如玻璃化样品或样品负染色技术,用于有效成像。 [溶液]通过扫描透射的电子获得的样品架S上的带电粒子上的样品, 由分段检测器检测, 各检测器段不同于扫描位置,沿着各分量的X,Y坐标产生矢量输出,在轨道13上的粗略预选位置,各分量,以及,分析标量强度的传感器值,在指定位置中执行精细扫描。 图4[附图]
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