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像差测量方法和电子显微镜

US16282897 2019-2-22 发明申请

2019-8-29

本发明提供一种能够降低图像漂移的影响的像差测量方法。像差测量的新方法用于电子显微镜中。所述方法包括 : 获取第一图像，所述第一图像为样品的TEM图像；扫描照射到样品上的电子束的照射角度，并通过多次曝光以不同照射角度产生的多个TEM图像获得第二图像；以及从第一和第二图像计算像差。