| 基于低温固体冷却的扫描电子显微镜制冷系统及方法 |
| CN201910411555.8 2019-5-17 发明申请 |
| 2019-8-23 |
| 本发明涉及扫描电子显微镜样品台冷却技术领域，提供基于低温固体冷却的扫描电子显微镜制冷系统及方法，该基于低温固体冷却的扫描电子显微镜制冷系统，包括：容器、第一真空腔体、第二真空腔体、样品台、低温冷头和液体源；样品台设置于容器的上方，低温冷头用于为容器提供冷量，液体源用于为容器提供液体，低温冷头位于第一真空腔体的内部，容器和样品台位于第二真空腔体的内部。该基于低温固体冷却的扫描电子显微镜制冷系统，由液体转化的低温固体的潜热制冷以实现样品台的温度的调控，在切断低温冷头和容器之间的冷量输送后，系统处于零振动状态，并且样品台能够长时间维持在设定温度，温度波动范围很小。 |
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