| 一种光谱共焦内径测量探头 |
| CN202122349789.X 2021-9-27 实用新型 |
| 2022-4-5 |
| 本实用新型公开了一种光谱共焦内径测量探头，包括固定架，所述固定架上安装有光谱共焦探头，光谱共焦探头远离固定架的一端安装有直角反射镜，直角反射镜设置于工件圆孔内。本光谱共焦内径测量探头，利用光谱共焦测量原理将位移信息变换到波长信息中去，在光谱共焦探头前端加一个90度直角反射镜，形成小型探头，结合多测头静态测量方式，对工件圆孔内部进行测量，实现了内径尺寸的微米级高精度测量，采用线光源进行光谱共焦测量，不同波长的单色光色散至工件圆孔的两侧内壁，并以相反的方向再次通过色散组件经由光源耦合器传导至光谱信号接收组件，可以有效的改善光谱共焦测量系统的测量精度，从而减少测量误差，提高测量精度。 |
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