| 透射温度测量中的激光噪声消除 |
| US16550563 2019-8-26 发明申请 |
| 2019-12-12 |
| 本发明公开了一种用于测量衬底温度的装置和方法。 该设备包括温度指示辐射源，温度指示辐射源检测器，以及设置在温度指示辐射源和温度指示辐射源检测器之间的光路中的去相关器。 去相关器可以是宽带放大器和/或模式加扰器。 宽带放大器可以是宽带激光器，布拉格光栅，光纤布拉格光栅，拉曼放大器，布里渊放大器或其组合。 所述去相关器被选择为发射辐射，所述辐射至少部分地由被监测的衬底透射。 如果所述去相关器是增益驱动装置，则所述源与所述去相关器匹配，使得所述源的发射光谱在所述去相关器的增益带宽内。 |
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