| 一种消慧差宽带高分辨光谱仪 |
| CN201911310162.4 2019-12-18 发明申请 |
| 2020-3-27 |
| 本发明公开一种消慧差宽带高分辨光谱仪，包括入射狭缝、准直反射镜、集成光栅、二维聚焦成像镜和二维面阵探测器；入射光沿入射狭缝入射，并穿过集成光栅中心的通光孔，入射到准直反射镜上，入射光经准直反射镜准直后沿同轴光路L1入射到集成光栅，经集成光栅的各子光栅衍射后被二维聚焦成像镜聚焦，全光谱区的衍射光沿同轴光路L2，入射到二维面阵探测器的焦平面检测，L1和L2光路的离轴角为零。本发明无任何机械位移部件，实现全光谱区在衍射方向完全消除慧差影响差的宽光谱高分辨高速检测和分析，具有很高的光谱分辨率和工作可靠性。 |
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