| 自动对焦装置及具有该自动对焦装置的光学装置和显微镜 |
| WOJP19002216 2019-1-24 发明申请 |
| 2019-8-22 |
| 本发明提供一种自动聚焦装置，其具备 : 载置载置试样(20)的玻璃构件(19)的载物台(ST)； 放大光学系统(L2，Hm，DM，OL)，用于观察样品(20)； 光源装置(11，m，13)，其通过放大光学系统将光辐射到样品(20)； 位于放大光学系统与样品(20)的相对侧并限制从光源装置辐射的辐射光的虹膜(IR)； 以及AF照相机(22)，其接收已经通过放大光学系统的反射光，其中反射光是在通过虹膜(IR)和放大光学系统并到达玻璃构件(19)之后从反射表面(S)反射的辐射光。 光源装置相对于放大光学系统的轴以非零角度(ph)照射光。 控制装置(100)调整载物台(ST)的位置，使得遮蔽对象的拍摄图像的位置与目标位置一致。 通过实现所述配置，可以实现高速自动聚焦。 |
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