| 一种光栅型增益平坦滤波器的飞秒激光刻写系统 |
| CN202111505134.5 2021-12-10 发明申请 |
| 2022-3-15 |
| 本发明涉及光纤无源器件的超快激光制造技术领域，尤其涉及一种光栅型增益平坦滤波器的飞秒激光刻写系统，包括光源、光谱仪、高精度单轴位移台、控制模块和激光器；所述光源用于发出测试光信号，并经过未加工光纤至光谱仪显示光源的光谱曲线；所述控制模块用于读取实时光谱曲线，并对比录入的目标光谱曲线，当飞秒激光在该位置曝光足够，使实时光谱曲线与目标光谱曲线重合后，驱动高精度单轴位移台沿光纤轴向进行位移，对下一位置进行曝光，直至实时光谱曲线与目标曲线完全一致后，控制模块驱动激光器关闭激光。本发明读取光谱仪实时数据，并对比录入的目标曲线，通过控制模块来移动光纤位置，调整曝光量来实现任意光谱曲线的GFF的刻写。 |
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