| 具有不同相干长度的多波长源的干涉仪 |
| US17052448 2019-4-29 发明申请 |
| 2021-3-25 |
| 描述了使用具有不同相干长度的多个光源的组合来测量物体的表面特性的方法，装置和系统。 一个示例系统包括被配置为在第一和第二中心波长下操作的两个激光源， 宽带源，被配置为在所述至少两个激光器的工作范围之外的波长范围下工作；相位掩模阵列和滤色器，被分别布置为施加不同的相位延迟并提供与来自所述源的发射辐射相对应的光谱滤波。 定位像素化传感器装置以同时测量与由于来自光源的光在传播通过相位掩模阵列和滤色器之后的干涉而形成的多个干涉图相关联的强度值。 测量的强度值使得能够确定物体的表面特性。 |
微信公众号