| 扫描电子显微镜温度调节系统及方法 |
| CN201910414186.8 2019-5-17 发明申请 |
| 2019-8-16 |
| 本发明涉及扫描电子显微镜样品台冷却技术领域，提供扫描电子显微镜温度调节系统及方法，该扫描电子显微镜温度调节系统，包括：加热元件、第一真空腔体和第二真空腔体，还包括低温冷却装置和样品台，所述低温冷却装置用于为所述样品台提供冷量，所述加热元件用于为所述样品台提供热量，所述低温冷却装置位于所述第一真空腔体的内部，所述加热元件和所述样品台均位于所述第二真空腔体的内部。该扫描电子显微镜温度调节系统通过低温冷却装置为样品台提供冷量，加热元件为样品台提供热量，能够实现样品台的宽温区覆盖和高精度控温。 |
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