| 一种高性能DFB激光器外延片及其制造方法 |
| CN202111486126.0 2021-12-7 发明申请 |
| 2022-3-11 |
| 一种高性能DFB激光器外延片，包括自下而上依次层叠设置的衬底、下缓冲层、下限制层、下波导层、量子阱、上波导层、上限制层、上缓冲层、腐蚀阻挡层、包层、光栅制作层、二次外延层、势垒渐变层和欧姆接触层；所述光栅制作层设置于所述二次外延层中。本发明提出了一种高性能DFB激光器外延片及其制造方法，可以有效抑制激光器的空间烧孔效应，提升DFB激光器的边模抑制比，优化其光谱模式，提高了DFB激光器的产品良率，制造成本低。 |
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