| 透射、扫描和聚焦离子束电镜通用样品杆及转接装置 |
| CN201821995983.7 2018-11-30 实用新型 |
| 2019-8-16 |
| 本实用新型涉及材料测试领域，具体为一种透射、扫描和聚焦离子束电镜通用样品杆及转接装置。该装置包括样品杆、转接密封带法兰套管、密封法兰及波纹管套管和X?Y?Z三维滑台及支架，转接密封带法兰套管固定在样品杆的尾端，其内壁与样品杆间使用密封圈进行真空密封；转接密封带法兰套管置于波纹管套管内，其外壁使用密封圈与波纹管套管内壁实现真空密封；X?Y?Z三维滑台通过滑台支架固定在密封法兰和波纹管套管上，实现样品的三维平动和绕杆体轴线360°旋转。本实用新型极大地方便样品的加工和显微结构分析，提高工作效率，广泛适用于各种型号的透射电镜、扫描电镜和聚焦离子束电镜。 |
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