| 一种多通道宽带高分辨光谱仪 |
| CN201911310139.5 2019-12-18 发明申请 |
| 2020-3-27 |
| 本发明公开一种多通道宽带高分辨光谱仪,包括沿光源入射或反射路线,依次设置的若干光源入射狭缝、由多个子光栅组成的多通道集成光栅、多通道共用的二维聚焦成像镜,以及二维面阵探测器;入射光沿各光源入射狭缝入射到对应的集成光栅上,经集成光栅衍射后被共用的二维聚焦成像镜聚焦,全光谱区衍射光入射到二维面阵探测器焦平面检测。无任何机械位移部件,实现多通道全光谱的高速检测和分析,具有很高的光谱分辨率和工作可靠性。 |