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产业专利数据

可变孔径掩模

US15930379 2020-5-12 发明申请

2020-8-27

一种半导体计量工具的收集系统，包括：夹头，用于支撑从其反射光束的目标；以及光谱仪，用于接收反射的光束。所述收集系统还包括多个孔径掩模，所述多个孔径掩模围绕平行于光轴的轴以可旋转的顺序排列。所述多个孔径掩模中的每个孔径掩模可在所述卡盘和所述光谱仪之间旋转进出所述反射光束，以选择性地掩模所述反射光束。