| 扫描电子显微镜的自动聚焦方法 |
| WOJP19001468 2019-1-18 发明申请 |
| 2019-8-15 |
| 本发明涉及一种用于扫描电子显微镜并使用隔行扫描的自动聚焦技术。 一种用于扫描电子显微镜的自动聚焦方法 : 利用电子束重复扫描样品，同时在垂直于扫描方向的方向上移动电子束的扫描位置预定的多个像素，从而产生在样品表面上形成的图案(160)的下采样图像； 多次执行在改变电子束的焦点位置和照射位置的同时产生图案(160)的下采样图像的步骤，从而产生图案(160)的多个下采样图像； 计算多个相应下采样图像的多个锐度； 从而基于多个锐度确定最佳焦点位置。 |
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