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使用气体簇铣的连续厚组织切片的体积扫描电子显微镜

WOUS19016871 2019-2-6 发明申请

2019-8-15

一种显微镜系统，包括 : 气体簇束系统，其被配置为产生指向样品的气体簇束，以照射样品并从样品磨去连续的表面层；扫描电子显微镜系统，其被配置为用电子束照射样品的连续表面层并响应于表面层的照射而对样品的连续表面层成像，以及处理器，被配置为基于样本的连续层的成像来生成样本的三维图像。