| 焦点检测方法及共焦显微镜 |
| JP2018016155 2018-2-1 发明申请 |
| 2019-8-8 |
| [问题]缩短聚焦所需时间的焦点检测方法可以是共焦显微镜。 [解决方案]根据本发明的焦点检测方法， 一种共焦光学系统20的焦点检测方法， 光通过反射步骤由被测表面的物镜34，12，51，50样品会聚， 反射装置，用于在36e处反射入射到刀刃3612上的光， 将步骤12分成反射光2， 从12a1212反射的第二反射光被分割， 所述第一和第二通道包括进入纤维束连接步骤的通道39a39b1239， 第一透射部分具有第一通道的强度，第一台阶部分的第一强度通过通道，第一台阶部分和第二台阶部分的强度基于强度，焦点位置检测步骤被提供。 图6[附图] |
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