| 一种激光维持用等离子体光源腔体 |
| CN202120612608.5 2021-3-26 实用新型 |
| 2022-2-18 |
| 本实用新型涉及等离子体光源技术领域，尤其涉及一种激光维持用等离子体光源腔体，包括石英腔体、电极连接体、腔体内的填充气体；所述石英腔体包括封接区和球泡；所述封接区为与所述球泡的端部连通的管状体，所述球泡的内腔为电离腔；所述石英腔体中封装一个或多个用于等离子体触发的电极连接体，所述电极连接体包括导电柱、钼片、电极体，所述电极体的头端设置有电极头，所述电极头的头部呈锥形的尖端，所述电极体的尾端依次焊接钼片、导电柱，所述电极头位于球泡内部，所述钼片位于封接区的压封位置，所述导电柱位于石英腔体外部。可实现激光维持等离子体的触发和限制用于生成等离子体的气体，维持稳定的发光强度和光谱。 |
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