| 原子力显微镜及样品表面性质的测试方法 |
| CN201910381546.9 2019-5-8 发明申请 |
| 2019-8-6 |
| 本发明公开了一种原子力显微镜及样品表面性质的测试方法。所述原子力显微镜包括：信号发生器、探针组件、Z向压电陶瓷、激光发生器、光电探测器、位移粗调单元、控制器以及样品台，其中，探针组件包括探针以及激励模块，探针包括悬臂梁以及位于悬臂梁第一端的针尖，激励模块与信号发生器连接，用于接收激励信号，并在激励信号的作用下驱动探针在第一方向上偏转，激励模块为非激光光热激励模块。本发明实施例提供的技术方案，使得探针的振动频率大幅提高，从而有效加快了采用非共振轻敲模式测试待测表面性质时的速度，缩短了同一待测表面的测试时间。 |
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