| 使用声表面波的可调谐衍射光栅 |
| US17397767 2021-8-9 发明申请 |
| 2022-2-10 |
| 本发明公开了一种使用声表面波的可调谐衍射光栅。 在一些实施例中，可调谐衍射光栅包括：压电基片，包括叉指换能器(IDT)区域和延迟线区域； 位于IDT区域中的多个IDT电极， 其中IDT电极中的每一个都是可单独寻址的，使得施加到每个电极上的电压是相移的， 并且其中IDT电极提供相移电压以在压电基板中以在延迟线区域中产生光栅的图案诱导表面声波。 有利地，可调谐衍射光栅具有许多应用，包括用于轨道飞行器和火星漫游器的光谱仪。 |
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