| 长扫描长度DUV微光刻光束扫描声光偏转器及光学设计 |
| WOEP20051218 2020-1-20 发明申请 |
| 2020-10-8 |
| 所公开的技术使用极端光束整形来增加通过AOD投射的能量的量。 描述了位于AOD之前和之后的第一和第二扩张器。 在一个实施例中，光路对来自诸如高斯激光光点的源的能量进行整形，使其偏转，然后将其整形为写入光点。 在用于图像捕获的另一个实施例中，而不是投影系统中，所公开的光学器件在AOD出口处将读取光点从成像表面重新成形为高深宽比光束，受到AOD的偏转作用。 该光学器件对由通过AOD的高深宽比光束中继到检测器的辐射进行整形。 因为光可以在两个方向上通过光学系统传播，所以在将写入光点投影到辐射敏感表面上方面所描述的细节也适用于在成像表面上扫描读取光点的计量学。 最显著的区别是使用多个检测器，例如线相机，面相机，光谱仪，散射计或干涉仪，可以在从工件读取而不是向其写入的系统中使用。 紧跟在激光光点或写入光点之后的所有参考文献由此扩展到读取光点。 |
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