| 可变缩小比球面像差校正静电透镜，广角能量分析器和二维电子光谱仪 |
| EP19799637 2019-5-8 发明申请 |
| 2021-3-17 |
| 本发明提供一种小型的二维电子分光计，其能够在宽的范围内可变地调整减速比，并且能够在宽的获取立体角上以高能量分辨率同时测量二维发射角分布。 该二维电子光谱仪包括：可变减速比球面像差校正静电透镜； 柱面镜式能量分析器或广角能量分析器； 以及投影透镜。 该可变减速比球面像差校正静电透镜由以下构成： 静电透镜，其由相对于点源具有凹形形状的轴对称球面网和一个或多个轴对称电极组成，并调节从点源产生的带电粒子的球面像差； 以及与静电透镜同轴放置的轴对称减速场产生电极。 |
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