扫描探针显微镜及分析方法
 
WOJP18002693  2018-1-29  发明申请

2019-8-1
 
  扫描探针显微镜1包括控制单元15。 控制单元15包括信号获取处理单元151,图像获取处理单元152,扫描条件修改处理单元154,扫描处理单元155和噪声确定处理单元156。 在扫描探针显微镜1中,如果要去除包含在样品表面的图像中的噪声,则扫描条件修改处理单元154修改扫描条件。 信号获取处理单元151从检测单元12获取输出信号。 图像获取处理单元152基于输出信号获取样本S的表面的图像。 噪声确定处理单元156基于当扫描条件修改处理单元修改扫描条件时输出信号的变化或样品S表面的图像的变化来确定输出信号中是否包括噪声 154。 因此,可以正确地确定输出信号中何时包括噪声。
 
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