| 一种光学显微镜下热电两场原位气氛测试系统 |
| CN201910359998.7 2019-4-30 发明申请 |
| 2019-7-30 |
| 本发明提供一种光学显微镜下热电两场原位气氛测试系统，采用的技术方案是一种光学显微镜下热电两场原位气氛测试系统，包括光学显微镜、电学工作站、与电学工作站连接的样品台及为样品台腔室提供气氛环镜的气路系统，关键在于，所述样品台中包括集成电路测试台和设置在其下方、安装有原位芯片的芯片安装台组件，集成电路测试台中包括底座、安装在底座上的探针密封组件和电路板及限位在探针密封组件中、具有弹性探头的探针，电路板下压时，探头与原位芯片的电极之间形成自密封结构。有益效果是本系统在光学显微镜下完成原位气体加热、真空加热及电学实验等多类型实验，为原位透射实验提供依据，操作简便；实验风险低、成本低。 |
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