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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

阴极发光SEM中的精确波长校准

US16996020 2020-8-18 发明申请

2021-2-25

一种具有光谱仪的扫描电子显微镜，所述光谱仪具有具有多个像素的传感器，其中所述光谱仪将不同波长的收集光引导到不同的像素上。形成光学模型，并使误差函数最小化以求出该模型的值，从而可以使用该模型来校正波长检测。该模型可以校正由诸如电子束在样品上的运动，由光学元件引入的像差以及光学元件的缺陷等效应产生的误差。也可以使用校正函数来考虑未被光学模型捕获的影响。