| 一种微米线宽深硅沟槽的光学测量系统与方法 |
| CN202111170009.3 2021-10-8 发明申请 |
| 2022-1-14 |
| 本发明一种微米线宽深硅沟槽的光学测量系统与方法，包括光源模块(100)、分光模块(200)、科勒照明模块(300)、临界光束模块(400)、样品台(500)、显微图像采集模块(600)和复色光谱采集模块(700)；所述光源模块(100)输出复色宽谱准直光束，所述分光模块(200)将准直光束分别导入科勒照明模块(300)和临界光束模块(400)，共同照明样品台(500)上的待测样品；所述样品台(500)控制待测样品的显微对焦与测量区域；采集显微图像和反射光谱并传送给计算机，利用计算机软件解算沟槽深度和关键尺寸。与现有技术相比，本发明在显微与光谱测量时使用不同照明光波段，优化了光源效率；控制临界光束孔径角提高了沟槽深宽比测量能力。 |
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