| 一种扫描电镜样品台 |
| CN201910416926.1 2019-5-20 发明申请 |
| 2019-7-30 |
| 本发明公开了一种扫描电镜样品台，包括基座以及至少一个与基座可拆卸连接的承载模块，所述承载模块带有用于承载样品的承载斜面。所述基座由底座和设置于底座上的凸台组成，所述承载模块带有与凸台侧面形状相匹配的接触面，所述承载模块与底座可拆卸连接，并且所述承载模块的接触面与凸台侧面接触配合。本发明不需要夹具和转轴等较为复杂的部件，即可实现同时装载多个样品、同时多角度测量的目的，兼具平面和截面测试功能，能够减少放真空?换样?抽真空的等待时间，提高实验和生产检验中的测试效率，本发明设计简单，易加工，易操作。 |
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