| 一种测量复合膜缺陷的成像系统及方法 |
| KR1020200076137 2020-6-23 发明申请 |
| 2021-12-30 |
| 公开了一种用于测量复合膜断层造影的图像系统和方法。 根据本发明的一个实施例， 一种用于在直列(直列)过程中移动的样品的复合断层摄影测量的图像系统， 通过QWP(四分之一波片)将线偏振态的光源转换为圆偏振态， 以及光学产生模块，其以线照明(线照明)中的点光束(点光束)和样品宽度方向(x轴)中的样品长度方向(y轴)的形式通过周向透镜进行照射； 分束器(BASE SPLITER)是一个光照射模块，用于分离光源，并照射相互垂直放置的反射镜和样品； 图像测量单元，用于使用偏振分离器和图像光谱仪(成像光谱仪)同时测量样品宽度方向上所有点的垂直偏振分量和水平偏振分量的干涉分光光度； 以及控制单元，用于通过分析从图像分光单元获得的断层造影图像信息来提取断层造影结构的特性和样品的双折射特性 |
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