| 耐振白色光干涉显微镜及其振动影响去除方法 |
| CN201980003112.3 2019-6-13 发明申请 |
| 2020-3-6 |
| 本发明涉及耐振白色光干涉显微镜及其振动影响去除方法，本发明一实施例的耐振白色光干涉显微镜包括：光源部，用于同时发生光谱相对宽的白色光和光谱相对窄的激光；干涉纹生成部，包括镜头部和用于驱动上述镜头部的扫描驱动部，上述干涉纹生成部用于形成上述白色光的干涉纹及上述激光的干涉纹；照明成像显微镜光学部，用于分离上述白色光的干涉纹及上述激光的干涉纹；触发发生部，包括光电二极管及现场可编程门阵列控制器，上述光电二极管用于测定上述激光的干涉纹，上述现场可编程门阵列控制器分析在上述光电二极管测定的上述激光的干涉纹来生成触发；高速摄像头，用于测定上述白色光的干涉纹；以及控制部，用于运算及处理在上述高速摄像头中测定的上述白色光的干涉纹测定信息。 |
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